渦輪分子泵的工作原理？優(yōu)缺點有哪些
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  • 當(dāng)然，任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。它的缺點：(1) 設(shè)備費用高；(2) 對顆粒物或沉積物敏感；(3) 噪音與振動；(4) 破碎問題；(5) 暴露大氣易引起事故
  • 由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現(xiàn)得更優(yōu)越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點有：(1)清潔，無油蒸汽返流；(2)使用方便；(3)氣體輸送能力強；(4)適于超高真空應(yīng)用；(5)高壓力下性能良好；6)循環(huán)的時間短；(7)正常使用時間長
  • 渦輪分子泵的抽氣原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個必要條件：1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。2). 分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。
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