哪位知道Edwards真空分子泵的維修注意事項(xiàng)是？

當(dāng)愛(ài)德華分子泵控制器M2（方框2）或M7的真空度始終沒(méi)有到位時(shí)，請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。 全文

愛(ài)德華分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問(wèn)該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠 解決方法.. 全文

Edwards真空分子泵維修每次停機(jī)后，必須清洗每個(gè)分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。 全文

進(jìn)口分子泵的維護(hù)方法主要包括以下幾個(gè)方面： ?1.異響和振動(dòng)的排查?：如果分子泵出現(xiàn)異響或振動(dòng)，建議先停機(jī)檢查轉(zhuǎn)子的平衡性。如果轉(zhuǎn)子有明顯的變形，應(yīng)進(jìn)行更換。同時(shí)，檢查軸承的狀態(tài)，必要時(shí)進(jìn)行.. 全文