愛德華分子泵控制器發(fā)生故障怎么辦？大俠們，求解

Edwards二手分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不.. 全文

高真空分子泵過熱是常見故障，可能影響設(shè)備性能及使用壽命。以下是系統(tǒng)化的維修方法及注意事項(xiàng)：1. 故障診斷與停機(jī)檢查（1）立即停機(jī)斷電，待泵體冷卻至室溫（2）使用紅外測(cè)溫儀定位高溫區(qū)域（軸承/電機(jī)/散熱.. 全文

真空泵油積碳，發(fā)黑，像油泥一樣，所以在排氣口處出現(xiàn)冒油煙。出現(xiàn)這種情況時(shí)，要把真空泵油更換掉，將泵從系統(tǒng)上拆下，用干凈的方盤接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。斷續(xù)啟動(dòng)電機(jī)，使各真空小室內(nèi)的油全部.. 全文

愛德華分子泵控制器在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠 解.. 全文