真空泵如何保養(yǎng)？真空泵定期保養(yǎng)的方法是？在線等

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在分子泵剛剛開始工作的階段，由于有大量的氣體由進氣口被抽到排氣口，所以這種返流對實際抽速帶來的影響不是很大，而隨著進氣口壓力的下降，分子泵抽下來的氣體量在減少，這時，氣體返流對抽速的影響也就大起來了。 全文

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當愛德華分子泵維修未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時，必須根據故障提示進行處理。 全文