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對(duì)于高真空/超高真空系統(tǒng)，當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)的壓力低于10-6毫巴以后，系統(tǒng)內(nèi)氫氣占的比例越來越大，而此時(shí)氫氣的返流也越來越明顯，因此此時(shí)分子泵的有效抽速已經(jīng)與產(chǎn)品說明書給出的參數(shù)相差很大了。分子泵對(duì)氫氣的壓縮比越大，分子泵對(duì)氫氣的實(shí)際有效抽速就越大；反之，則實(shí)際有效抽速已經(jīng)所剩無幾。
在高真空渦輪分子泵剛剛開始工作的階段，由于有大量的氣體由進(jìn)氣口被抽到排氣口，所以這種返流對(duì)實(shí)際抽速帶來的影響不是很大，而隨著進(jìn)氣口壓力的下降，分子泵抽下來的氣體量在減少，這時(shí)，氣體返流對(duì)抽速的影響也就大起來了。這就是分子泵對(duì)小分子氣體，特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。
高真空渦輪分子泵內(nèi)有一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)（每分鐘幾萬轉(zhuǎn)）的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子上有渦輪和拖動(dòng)級(jí)進(jìn)行抽氣。

求幫助！Edwards二手分子泵怎樣維修？

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