分子泵噪音大維修方法

分子泵噪音大的維修方法及處理步驟分子泵噪音異常通常由機械摩擦、軸承磨損、轉子失衡或異物侵入引起，需系統(tǒng)排查并針對性處理。1. 檢查安裝與固定首先關閉電源并泄真空，檢查泵體安裝是否水平穩(wěn)固。用水平儀校準底座，緊固松動的地腳螺栓。振動值超過15μm/s需加裝減震墊或調整支撐結構。管路連接處使用波紋管過渡可減少共振傳導。2. 異物清除與內部檢查拆解進氣口法蘭，使用內窺鏡檢查泵腔。常見異物包括密封圈碎屑、金屬顆粒等，用無塵棉簽蘸取無水乙醇清理。特別注意渦輪葉片根部積碳，必要時使用超聲波清洗轉子組件（頻率28kHz，清洗時間≤30分鐘）。3. 潤滑系統(tǒng)維護檢查油路是否通暢，油量應位于視窗2/3處。使用原廠真空泵油，舊油呈深褐色或粘度下降需立即更換。軸承注油時采用定量注脂，注入量不超過腔體容積的70%，避免油脂溢出污染泵腔。4. 軸承檢測與更換使用聽棒檢測軸承異響，空轉時軸承部位溫度超過75℃表明異常。拆解后測量軸承游隙，分子泵陶瓷軸承徑向游隙應≤0.02mm。更換時需用拉馬工具，安裝后執(zhí)行低速（≤10000rpm）跑合2小時。5. 動平衡校準將轉子組件置于動平衡機（精度等級G1.0），轉速達到額定值的20%時檢測不平衡量。允許殘余不平衡量≤1g·mm/kg，超標時需在轉子特定位置進行配重修正。返裝后需進行真空密封測試，氦檢漏率應＜1×10^-9 Pa·m3/s。注意事項：維修后啟動應階梯升速，每5分鐘提升10%額定轉速。持續(xù)監(jiān)測噪音頻譜，特征頻率（如軸承通過頻率、葉片通過頻率）幅值不得超過基線值3dB。建議每2000小時進行預防性維護，包括清潔磁懸浮傳感器、檢查電機繞組絕緣電阻（≥100MΩ）。復雜故障應及時聯(lián)系廠家技術支持，避免二次損傷。