磁懸浮分子泵調(diào)試

磁懸浮分子泵作為高真空系統(tǒng)的設(shè)備，其調(diào)試是確保性能與可靠性的關(guān)鍵步驟。遵循嚴(yán)謹(jǐn)流程至關(guān)重要：

1.調(diào)試前準(zhǔn)備：

*環(huán)境確認(rèn)：檢查安裝環(huán)境（潔凈度、振動(dòng)、電磁干擾）符合要求，泵體安裝穩(wěn)固、對(duì)中良好。

*系統(tǒng)檢查：確認(rèn)所有管路（特別是入口法蘭）連接正確、密封可靠（如使用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行真空密封性測(cè)試）。冷卻水路暢通，電源與控制線纜連接無誤。

*控制器準(zhǔn)備：接通控制器電源，完成系統(tǒng)自檢。確保軟件版本匹配，參數(shù)設(shè)置（如保護(hù)閾值）已按手冊(cè)或工藝要求初步配置。

2.啟動(dòng)與懸浮調(diào)試：

*初次上電：在確認(rèn)前級(jí)泵已啟動(dòng)并建立一定前級(jí)真空（通常需達(dá)到10-100Pa量級(jí)）后，啟動(dòng)分子泵控制器。此時(shí)磁軸承系統(tǒng)開始工作，轉(zhuǎn)子應(yīng)平穩(wěn)懸浮。

*懸浮狀態(tài)監(jiān)控：密切觀察控制器界面顯示的懸浮位置、間隙電流、振動(dòng)等實(shí)時(shí)參數(shù)。轉(zhuǎn)子應(yīng)迅速穩(wěn)定在設(shè)定位置，無異常抖動(dòng)或報(bào)警。如有異常，需立即停機(jī)排查（如傳感器、電磁線圈、控制參數(shù)問題）。

3.加速與性能測(cè)試：

*平穩(wěn)加速：在懸浮穩(wěn)定后，指令控制器驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子逐步加速至額定轉(zhuǎn)速（通常數(shù)萬至十萬轉(zhuǎn)/分）。監(jiān)控電流、溫度、振動(dòng)變化，確保加速過程平穩(wěn)，無過流、過熱或振動(dòng)超標(biāo)。

*極限真空測(cè)試：達(dá)到額定轉(zhuǎn)速并穩(wěn)定運(yùn)行后，關(guān)閉系統(tǒng)與泵之間的隔離閥（或確保系統(tǒng)無泄漏、無放氣）。記錄泵入口壓力隨時(shí)間下降曲線，終測(cè)得極限真空度（通常要求優(yōu)于10^-7mbar，具體看型號(hào)與工藝要求），驗(yàn)證其抽氣能力。

*參數(shù)優(yōu)化與記錄：根據(jù)實(shí)際運(yùn)行數(shù)據(jù)（如振動(dòng)頻譜），微調(diào)磁軸承控制參數(shù)（需嚴(yán)格遵循手冊(cè)指導(dǎo)）。詳細(xì)記錄所有關(guān)鍵步驟的終參數(shù)、測(cè)試結(jié)果及環(huán)境條件。