磁懸浮分子泵真空極限

磁懸浮分子泵（MaglevTurbomolecularPump）代表了渦輪分子泵技術(shù)的，其優(yōu)勢(shì)在于利用磁懸浮軸承完全消除了轉(zhuǎn)子與定子之間的機(jī)械接觸。這一革命性設(shè)計(jì)不僅帶來(lái)了超長(zhǎng)壽命、極低振動(dòng)和免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)，更關(guān)鍵的是，它顯著提升了泵所能達(dá)到的極限真空度。

磁懸浮分子泵通過(guò)消除機(jī)械接觸和潤(rùn)滑劑污染，將渦輪分子泵的極限真空推向了10^{-9}-10^{-10}Pa量級(jí)。這一性能使其成為半導(dǎo)體制造、表面科學(xué)、高能物理、材料研究等要求清潔超高真空環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備。其極限真空的終實(shí)現(xiàn)，依賴(lài)于的材料科學(xué)、精密的制造工藝和嚴(yán)格的無(wú)污染控制。