

復(fù)合分子泵(通常指渦輪分子泵與牽引分子泵組合的復(fù)合結(jié)構(gòu))是真空設(shè)備的部件,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密鍍膜、高能物理研究、材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室等對(duì)真空度和清潔度要求極高的領(lǐng)域。
總結(jié)來(lái)說(shuō),復(fù)合分子泵的價(jià)格范圍大致在:
*入門級(jí)/小型號(hào):幾萬(wàn)元至十幾萬(wàn)元。
*主流工業(yè)/科研應(yīng)用型號(hào):十幾萬(wàn)元至幾十萬(wàn)元。
*大型/超高抽速/型號(hào):幾十萬(wàn)元至上百萬(wàn)元甚至更高。
Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢?求解答
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